| ANSYS有限元分析软件在微结构气敏元件电极设计的问题研究 |
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| 引用本文： | 刘航,李洋.ANSYS有限元分析软件在微结构气敏元件电极设计的问题研究[J].吉林建筑工程学院学报,2015,32(2):63-65. |
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| 作者姓名： | 刘航 李洋 |
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| 作者单位： | 吉林建筑大学电气与电子信息工程学院,长春,130118 |
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| 基金项目： | 吉林省教育厅"十二五"科研项目 |
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| 摘 要： | 微热板是微结构气敏元件的重要组成部分,采用Si作为基底,通过氧化腐蚀形成Si O2绝缘层,在绝缘层上选用Pt完成电极层的制作.利用ANSYS有限元分析工具对微结构气敏传感器的微热板的结构设计进行仿真,通过仿真得到的结果和数据,对器件的整体结构和尺寸进行优化.
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| 关 键 词： | 微热板 电极 ANSYS 温度分布 |
Study of ANSYS Finite Element Analysis Application in Design of Micro-gas Sensor Electrodes |
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| LIU Hang,LI Yang.Study of ANSYS Finite Element Analysis Application in Design of Micro-gas Sensor Electrodes[J].Journal of Jilin Architectural and Civil Engineering,2015,32(2):63-65. |
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| Authors: | LIU Hang LI Yang |
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| Affiliation: | LIU Hang;LI Yang;School of Electrical and Electronic and Information Engineering,Jilin Jianzhu University; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-hotplate electrode ANSYS temperature distributing |
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