第二届全国三束及超精细加工年会在常州召开

由中国电子学会生产技术学会、半导体与集成技术学会联合召开的第二届全国电子束、离子束、光子束及超精细加工学术年会于1982年10月27日至11月1日在常州举行。来自全国各地95个单位的282名代表参加了这次会议。会上共有174篇论文分别在6个专业组上宣读,另有51篇论文进行书面交流。美国橡树岭国家实验室B.R.Applton博士应邀到会作了半导体离子注入及激光退火的专题报告。