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| 光栅莫尔条纹信号的零位跟踪细分 | |
| 作者姓名： | 李金泉 |
| 作者单位： | 天津理工学院 |
| 摘 要： | 本介绍了采用片簧机构实现莫尔条纹零位跟踪的测量方法，可以实现高分辨力的大位移测量。实验所用光栅栅距为０．０２ｍｍ，读数误差小于±０．０４μｍ，相当于实现了５００细分。 |
| 关 键 词： | 光栅莫尔条纹 零位跟踪 光学仪器 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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