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| 线形同轴耦合微波等离子体系统仿真研究 | |
| 引用本文： | 彭宜昌,吴易龙,徐伟,张威,陈特超. 线形同轴耦合微波等离子体系统仿真研究[J]. 电子工业专用设备, 2021, 50(2): 5-7,45 |
| 作者姓名： | 彭宜昌 吴易龙 徐伟 张威 陈特超 |
| 作者单位： | 湖南红太阳光电科技有限公司,湖南 长沙 410111 |
| 摘 要： | 微波等离子体增强化学气相沉积(MW-PECVD)法产生的等离子体密度高,成膜质量好,是制备高效太阳能电池背面钝化膜的重要方法.基于自主研制的平板式PECVD设备,对其核心部分——线形同轴微波等离子体系统进行了仿真分析,获得了该系统等离子体源的空间分布规律,为设备设计的进一步优化提供技术指导. |
| 关 键 词： | 线形同轴耦合微波等离子体 电子密度 真空腔体 平板式PECVD设备 |
Simulation of Linear Coaxial Coupling Microwave Plasma System |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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