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| 基于模糊PID控制的晶圆精密磨削控制系统 | |
| 作者单位： | 北京中电科电子装备有限公司,北京 100176 |
| 摘 要： | 根据晶圆自旋转磨削的特点,建立了基于模糊PID控制的精密磨削控制系统,该系统主要是通过模糊PID的方法调节磨削进给速度,以实现磨削时对磨削力的控制,并与普通模式进行了实验对比。实验结果表明,基于模糊PID控制算法的精磨磨削能够获得更稳定的磨削力和更高的磨削效率。 |
| 关 键 词： | 精密磨削 进给速度 磨削功率 磨削力 模糊控制 |
Control System of Wafer Precision Grinding Based on Fuzzy-PID Control |
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