| Pd掺杂SnO2厚膜CO2气体传感器的制备及其气敏特性研究 |
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| 引用本文： | 毕道广,罗兵,张福增,王婷婷,姚英邦.Pd掺杂SnO2厚膜CO2气体传感器的制备及其气敏特性研究[J].电子元件与材料,2021,40(1):11-18. |
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| 作者姓名： | 毕道广 罗兵 张福增 王婷婷 姚英邦 |
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| 作者单位： | 广东工业大学 材料与能源学院,广东 广州 510006;中国南方电网责任有限公司,广东 广州 510623 |
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| 摘 要： | 当前CO2的过度排放引发了一系列的环境问题,CO2的检测技术成为气体传感器研究领域的热点.半导体气敏传感器是气体传感器研究的主流方向之一,其中丝网印刷法是制备厚膜传感器的最常见的方法.本文采用纳米SnO2作为主要的气敏材料,制备了不同Pd掺杂含量的SnO2浆料,然后采用丝网印刷法制备了SnO2厚膜CO2气体传感器.研究...
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| 关 键 词： | CO2气体传感器 厚膜 SnO2 Pd掺杂 |
Preparation and characterization of Pd-filled SnO_2 thick film CO_2 sensor |
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