| Z轴硅微机械陀螺仪温度特性研究 |
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| 引用本文： | 陈淑铃, 杨波, 王寿荣,.Z轴硅微机械陀螺仪温度特性研究[J].电子器件,2008,31(6). |
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| 作者姓名： | 陈淑铃 杨波 王寿荣 |
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| 作者单位： | 东南大学仪器科学与工程学院,南京,210096;东南大学仪器科学与工程学院,南京,210096;东南大学仪器科学与工程学院,南京,210096 |
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| 基金项目： | 解放军总装备部预研项目
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| 摘 要： | 硅陀螺仪是近年来发展起来的一种新型角速度传感器,温度变化是其主要误差源之一.分析了温度变化对硅微陀螺仪的谐振频率和品质因数的影响,并选择常温下机械品质因数不同的两个陀螺在-40℃～80℃温度范围内进行测试,得出机械品质因数和谐振频率随温度变化规律.实验结果验证了陀螺仪谐振频率随温度升高而线形下降;温度变化时,封装陀螺仪抽真空度对陀螺机械品质因数产生明显影响.
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| 关 键 词： | 微机械陀螺仪 温度特性 |
Research on Thermal Characteristic of Z-Input Silicon Micromachined Gyroscope |
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| CHEN Shu-ling,YANG Bo,WANG Shou-rong.Research on Thermal Characteristic of Z-Input Silicon Micromachined Gyroscope[J].Journal of Electron Devices,2008,31(6). |
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| Authors: | CHEN Shu-ling YANG Bo WANG Shou-rong |
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| Affiliation: | CHEN Shu-ling,YANG Bo,WANG Shou-rong(School of Instrumentation Science , Engineering,Southeast University,Nanjing 210096,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | silicon micromachined gyroscope(SMG) thermal characteristic |
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