干法腐蚀工艺常用气体

由于干法腐蚀工艺具有图形加工精度高的特点,在近几年里得到高度重视和飞速发展。在干法腐蚀工艺过程中常用气体进行腐蚀,本文介绍干法腐蚀工艺中常用气体的种类、性质、质量要求和使用时注意事项。