| 海军舰艇军医业务支持系统设计 |
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| 引用本文： | 邵壮超,喻锡成,沈俊良,曹保根,赵红旗,倪健. 海军舰艇军医业务支持系统设计[J]. 压电与声光, 2010, 32(4) |
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| 作者姓名： | 邵壮超 喻锡成 沈俊良 曹保根 赵红旗 倪健 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学,精密机械与精密仪器系,安徽,合肥,230026 |
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| 基金项目： | 安徽省自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 介绍了一种新型的基于高性能锆钛酸铅(PZT)厚膜(压电常数d31约为-280 pm/V)的微机电系统(MEMS)压电超声换能器.基于有限元法,对该种压电超声换能器进行了模拟设计.优化结果表明,边长2 mm的超声换能器,优化后其共振频率约为170 kHz,有效机电耦合系数可达7.19%.此外,根据模拟结果,制备了超声换能器并进行了测试,共振频率为119 kHz的换能器,其有效机电耦合系数最大为6.39%,共振时中心振幅约为4.8 μm@50V,并分析了模拟结果与实验结果产生误差的原因.
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| 关 键 词： | 锆钛酸铅(PZT) 厚膜 超声换能器 结构设汁 |
Structure Design and Characterization of MEMS Piezoelectric Ultrasonic Transducer |
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| ZHANG Jinhong,MA Jianqiang,LI Baoqing,FENG Yan,CHU Jiaru. Structure Design and Characterization of MEMS Piezoelectric Ultrasonic Transducer[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2010, 32(4) |
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| Authors: | ZHANG Jinhong MA Jianqiang LI Baoqing FENG Yan CHU Jiaru |
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| Keywords: | |
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