| 微电机中转子和衬底间的微磨擦参数的提取 |
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| 引用本文： | 杨俊杰,甘骏人,姚林声.微电机中转子和衬底间的微磨擦参数的提取[J].功能材料与器件学报,2002,8(1):87-91. |
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| 作者姓名： | 杨俊杰 甘骏人 姚林声 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室,上海,200050 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(No.59775044) |
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| 摘 要： | 为了分析微电机的动力学特性，提出了一种微磨擦参数提取的人工神经网络模型。通过该模型可以方便地得到指定加工工艺的微电机的微磨擦系数。仿真结果与实测数据比较表明，模拟结果与实测数据基本一致。
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| 关 键 词： | 微电机 微磨擦 人工神经网络 微电机仿真系统 |
| 文章编号： | 1007-4252(2002)01-0087-05 |
| 修稿时间： | 2000年11月28 |
Extraction of micro-friction-coefficient in micro-motor using artifitial neural network |
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| YANG Jun-jie,GAN Jun-ren,YAO Lin-shen.Extraction of micro-friction-coefficient in micro-motor using artifitial neural network[J].Journal of Functional Materials and Devices,2002,8(1):87-91. |
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| Authors: | YANG Jun-jie GAN Jun-ren YAO Lin-shen |
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| Abstract: | An artifitial neural network model for calculating micro-friction coefficient in micro-motor was presented in order to analyze dynamic characteristics of micro-motor. Using the model, it is con- venient to get the micro-friction-coefficient of micro-motor under the specific manufacture technology. Results of applying the model to a micro-motor emulation system show that emulating results coincide with the measuring data in general. |
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| Keywords: | micro-motor micro-friction artifitial neural network micro-motor emulation system |
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