激光化学气相沉积薄膜材料技术的研究进展

前言现代材料科学的重大成就之一就是薄膜材料的迅速发展。可以说所有先进技术的发展都与薄膜材料的应用有关,特别是功能薄膜材料。大规模集成电路、大型计算机及电子光学、电子学的大部分关键装置都得益于薄膜材料的使用。而且,随着现代科学技术的发展,各种各样的功能薄膜或特殊薄膜的应用越来越广泛。因而人们对薄膜材料的制备技术给予了高度重视,各国不借投入大量人力和物力对制备薄膜材料的技术进行开发和研究。