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真空电子技术
摘    要:0463.1 2003050061热拉伸和化学腐蚀相结合制备弯曲光纤探针/徐凯,潘石,吴世法,孙伟,李银丽(大连理工大学)11物理学报一2 003,52(5).一1190一1 195提出了原子力/光子扫描隧道显微镜(AF/P STM)系统的关键部分一一双功能弯曲光纤探针的制作方法.采用热拉伸与动态、静态两步化学腐蚀相结合的方法制作出AF/P STM弯曲光纤探针.弯曲角度约为1 500,尖端曲率半径优于IO0nm,锥角范围为600一900.将这种双功能弯曲光纤探针应用在新研制的AF/PSTM系统上,同时获得了样品的光学与形貌图像,实现了图像分解.图8参11(午)能占电子(E>1 00 eV)对背向电…

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