| 耐高温压力传感器的设计研究 |
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| 引用本文： | 陈雨,杨继昌,丁建宁.耐高温压力传感器的设计研究[J].机械设计与制造,2008(10). |
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| 作者姓名： | 陈雨 杨继昌 丁建宁 |
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| 作者单位： | 1. 江苏大学,微纳米科学技术研究中心,镇江,212013
2. 江苏大学,微纳米科学技术研究中心,镇江,212013;江苏工业学院,常州,213164 |
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| 摘 要： | 借助弹性力学和板壳力学理论,建立了双岛型耐高温压力传感器应变膜的简化力学模型,得到近似应力分布的数学模型.利用有限元分析方法,借助ANSYS仿真软件,对应变膜进行一系列的计算机模拟,探讨简化应力模型的合理性以及温度对应力差分布的影响,为力敏电阻在应变膜上的布置、研发新颖的高温压力传感器芯片提供有力的依据.
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| 关 键 词： | 耐高温压力传感器 力敏电阻 芯片 优化 |
Design and research of high temperature pressure sensor |
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| CHEN Yu,YANG Ji-chang,DING Jian-ning.Design and research of high temperature pressure sensor[J].Machinery Design & Manufacture,2008(10). |
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| Authors: | CHEN Yu YANG Ji-chang DING Jian-ning |
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