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台系设备厂切入薄膜太阳能 非晶硅与CIGS成为主流
摘 要:
台系设备厂切入薄膜太阳能领域,目前主要以非晶硅及铜铟镓硒(CIGS)领域为主,台系设备业者指出:由于开发薄膜太阳能设备成功关键在于制程设备,其与半导体制程类似,为台系业者欠缺之技术,开发难度远较先期预期来的高,恐怕未来能在薄膜设备领域成功者仅少数。
关 键 词:
制程设备
太阳能
非晶硅
薄膜
CIGS
半导体制程
膜设备
开发
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