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| 简述光学接触法坐标测量机 | |
| 引用本文： | 裴丽梅.简述光学接触法坐标测量机[J].中国计量,2006(2):53-54. |
| 作者姓名： | 裴丽梅 |
| 作者单位： | 中国计量科学研究院 |
| 摘 要： | 随着工业化的发展和机械微型化、微电机系统的兴起和发展．“豫宏观”微小型工件（百微米至几个毫米尺度范围）尺寸和形状参数的测量已成为计量领域亟待解决的问题。如微型齿轮、钟表件、喷油嘴、小型的弹性工件等。 |
| 关 键 词： | 坐标测量机 接触法 光学 小型工件 机械微型化 微电机系统 形状参数 微型齿轮 工业化 喷油嘴 |
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