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| 适于集成激光器——聚酰亚胺光波导的镜面化学刻蚀 | |
| 引用本文： | 刘明大,李淑文,张晖.适于集成激光器——聚酰亚胺光波导的镜面化学刻蚀[J].半导体光电,1985(4). |
| 作者姓名： | 刘明大 李淑文 张晖 |
| 作者单位： | 吉林大学，吉林大学，吉林大学 电子科学系八四届毕业生 |
| 摘 要： | 引言光波导是构成集成光学的基本原件,是实现单片集成的关键。在半导体集成光路中需要一个低损耗的无源波导,作为有源元件之间的互连。最近报导一种很有希望的新型介质互连波导,称作淀积——旋转涂敷互连波导(DSWI)。是在GaInAsP/InP片上,集成激光器——聚酰亚胺/SiO_x(X～2)波导,得 |
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