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| 超高真空与分子束外延 | |
| 作者姓名： | 钟景昌 |
| 作者单位： | 长春光机学院 |
| 摘 要： | 一、引言 分子束外延是在超高真空条件下,通过热能分子束在处于一定温度下的晶体表面相互作用而形成晶体材料的过程。这既是晶体生长的理论问题,又是一个实际的工艺问题。分子束外延的生长机理与液相外延等其他生长方法不同,是一个非平衡态的过程。其主要特点是可以生长极薄(原子量级)而大面积均匀的晶体薄膜,并且其厚度、化学组分与掺杂严格可控。正是因为这些可贵的特点,使分子束外延技术在微波器件、集成光学等研究与制备方面获得很大进展,并在有关表面与界面,超晶格量子效应等理论研究上起着重要作用[1]。 分子束外延设备实质上是超高真… |
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