低温抽气 |
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引用本文: | J.P.HobSon
,任华巽.低温抽气[J].真空,1979(3). |
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作者姓名: | J.P.HobSon 任华巽 |
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作者单位: | 成都四川大学无线电系 |
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摘 要: | 本文对低温抽气进行了评述。强调了这种抽气方法的普适性、高的有效抽速以及宽的工作气压。介绍了基本理论以及在实际情况下的修正。把低温泵分成二大类:低温吸附泵和冷凝泵,这以表面复盖小于或大于五个单分子层来划分。作为例子举出了五种低温泵:①裸表泵。②带疏松吸附剂的泵。③带有粘结吸附剂的泵。④利用极低温的冷凝层的泵。⑤冷凝泵。
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