|
|||||
|
|
| 高能（Mev）As￣＋离子注入硅｛113｝缺陷的HREM研究 | |
| 引用本文： | 朱健民,李齐,蒋冬梅.高能（Mev）As￣＋离子注入硅｛113｝缺陷的HREM研究[J].电子显微学报,1994(6). |
| 作者姓名： | 朱健民 李齐 蒋冬梅 |
| 作者单位： | 南京大学固体微结构物理国家重点实验室 |
| 摘 要： | 高能（Ｍｅｖ）Ａｓ￣＋离子注入硅｛１１３｝缺陷的ＨＲＥＭ研究朱健民，李齐，蒋冬梅（南京大学固体微结构物理国家重点实验室，南京 ２１０００８）｛１１３｝缺陷是在硅、锗等材料中发生于｛１１３｝面上的一种面缺陷，曾在以下硅（锗）材料中观测到：１）热退火后的... |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |