论材料高温出气与电真空器件寿命的关系

本文首先评述了残余气体的量和质对电真空器件性能和寿命的影响,根据电真空器件是静态真空器件的特点,指出降低气源是改进残余气体的重要途径。分析了漏、渗透、出气、表面化学反应各种气源因素,并做了数字比较。认为出气是最根本、最首要的。文中概述了对于电真空器件主要应考虑高温出气。介绍了目前国内外高温出气研究中选择的物理参量、加温方式,出气机理中的问题,以及如何把高温出气数据运用在电真空器件中。