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| 纳米硅薄膜用于非晶硅液晶光阀阻光层研究 | |
| 引用本文： | 韩伟强,韩高荣.纳米硅薄膜用于非晶硅液晶光阀阻光层研究[J].浙江大学学报(自然科学版 ),1995,29(6):724-729. |
| 作者姓名： | 韩伟强 韩高荣 |
| 摘 要： | 本文报告了我们首先提出的采用ａ－Ｓｉ：Ｈ／ｎｃ－Ｓｉ：Ｈ异质结作为大屏幕投景液晶光阀光敏层，向列型液晶作为液晶光阀调制层的一种新型液晶光阀。Ａ－Ｓｉ：Ｈ光导层和ｎｃ－Ｓｉ：Ｈ阻光层通过辉光放电等离子体化学气相沉积法连续制得。本文研究了不同沉积条件下ｎｃ－Ｓｉ：Ｈ薄膜的结构和光电性质。Ａ－Ｓｉ：Ｈ和随之沉积的ｎｃ－Ｓｉ：Ｈ形成了ａ－Ｓｉ：Ｈ／ｎｃ－Ｓｉ：Ｈ异质结，本文还讨论了它的光电性质。采用ａ－Ｓ |
| 关 键 词： | 纳米硅薄膜 异质结 液晶光阀 薄膜 阻光层 |
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