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文辑摘要
摘 要:
表面热功能结构制造领域的发展及关键技术,等离子体浸没离子注入与沉积技术的发展及前沿问题,中频交流磁控溅射制备氧化锌铝薄膜的研究
关 键 词:
表面工程
等离子体浸没离子注入
中国
沉积技术
制造领域
功能结构
溅射制备
铝薄膜
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