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| 基于非晶硅薄膜晶体管的室温红外探测器 | |
| 引用本文： | 董良,岳瑞峰,刘理天. 基于非晶硅薄膜晶体管的室温红外探测器[J]. 仪器仪表学报, 2002, 23(Z2): 590-592 |
| 作者姓名： | 董良 岳瑞峰 刘理天 |
| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所,北京,100084 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金(No.59995550-1)和清华大学985基金资助项目. |
| 摘 要： | 基于非晶硅薄膜晶体管(a-SiHTFT)的沟道电流(Ids)温度特性,提出了一种新型的室温红外探测器(TFT-IRDT),它利用a-SiHTFT作为红外探测敏感元件,读出电路采用差分放大器结构,a-SiHTFT对管作差分输入管.Pspice模拟表明,信号输出与温度变化有较好的线性关系,温度响应灵敏度为4.1mV/K. |
| 关 键 词： | 非晶硅薄膜晶体管 室 温 红外探测器 |
Uncooled Infrared Detector Based on a-Si:H Thin Film Transistor |
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| Keywords: | |
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