硅微机械谐振压力传感器技术的发展 |
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作者单位: | ;1.武汉职业技术学院;2.国网浙江省电力公司水供电公司;3.国网浙江省电力公司丽水供电公司 |
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摘 要: | 现阶段,硅微机械谐振压力传感器应该是稳定性最好及精确度最高的传感器,在航空航天及工业等领域内广泛应用。按照硅微机械谐振压力传感器目前研究成果,对硅微机械谐振压力传感器工作原理进行阐述,分析不同类别硅微机械谐振压力传感器芯体结构,对硅微机械谐振压力传感器未来发展方向进行分析,希望能够增加对硅微机械谐振压力传感器技术的了解。
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关 键 词: | 微机械 谐振 压力传感器 谐振器 激励 检测 |
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