| 射频溅射法在CeO2/YSZ/Y2O3/NiW衬底上制备YBCO超导层 |
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| 引用本文： | 张华,杨坚,刘慧舟,屈飞. 射频溅射法在CeO2/YSZ/Y2O3/NiW衬底上制备YBCO超导层[J]. 稀有金属, 2007, 31(2): 245-247 |
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| 作者姓名： | 张华 杨坚 刘慧舟 屈飞 |
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| 作者单位： | 北京有色金属研究总院超导材料研究中心,北京,100088 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划);北京有色金属研究总院青年基金 |
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| 摘 要： | 用射频溅射的方法在强立方织构的CeO2/YSZ/Y2O3/NiW衬底上制备了YBCO超导层. 温度、气压等因素对超导层的外延生长有重要影响. 在基片温度大于780 ℃, 气压在11～160 Pa之间, 都有NiWO4化合物生成;在退火吸氧过程中, 金属基底被氧化. 最终在温度780 ℃, 气压100 Pa的条件下, 制备出了纯（00l）取向的YBCO薄膜, 其平面内φ扫描半高宽小于10°, 超导转变温度为87.2 K, 传导电流为11 A.
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| 关 键 词： | 溅射 衬底 织构 |
| 文章编号： | 0258-7076（2007）02-0245-03 |
| 修稿时间： | 2006-08-102006-11-06 |
YBCO Superconducting Layer on CeO2/YSZ/Y2O3/NiW Substrates by RF Magnetron Sputtering |
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| Zhang Hua,Yang Jian,Liu Huizhou,Qu Fei. YBCO Superconducting Layer on CeO2/YSZ/Y2O3/NiW Substrates by RF Magnetron Sputtering[J]. Chinese Journal of Rare Metals, 2007, 31(2): 245-247 |
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| Authors: | Zhang Hua Yang Jian Liu Huizhou Qu Fei |
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| Affiliation: | Superconducting Materials Research Center, General Research Institute for Non-Ferrous Metals, Beijing 100088, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | YBCO |
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