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涂覆聚苯胺的声表面波湿度传感器实验研究
引用本文:谢晓,王文,何世堂.涂覆聚苯胺的声表面波湿度传感器实验研究[J].声学技术,2013(Z1):175-176.
作者姓名:谢晓  王文  何世堂
作者单位:中国科学院声学研究所
摘    要:0引言湿度测量在工农业生产、食品卫生、气象、环保、国防等领域具有重要应用。随着应用范围的逐渐扩大,集成化、智能化、网络化的湿度传感器日益成为近年来的研究热点。基于声表面波(SAW)模式的湿度传感器以其灵敏度高、响应快、体积小、成本低、易集成等特点受到了广泛的关注1]。

关 键 词:湿度传感器  声表面波  湿度测量  食品卫生  湿敏  湿度检测  PANI  脱附过程  输出信号  反馈元件
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