涂覆聚苯胺的声表面波湿度传感器实验研究 |
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引用本文: | 谢晓,王文,何世堂.涂覆聚苯胺的声表面波湿度传感器实验研究[J].声学技术,2013(Z1):175-176. |
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作者姓名: | 谢晓 王文 何世堂 |
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作者单位: | 中国科学院声学研究所 |
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摘 要: | 0引言湿度测量在工农业生产、食品卫生、气象、环保、国防等领域具有重要应用。随着应用范围的逐渐扩大,集成化、智能化、网络化的湿度传感器日益成为近年来的研究热点。基于声表面波(SAW)模式的湿度传感器以其灵敏度高、响应快、体积小、成本低、易集成等特点受到了广泛的关注1]。
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关 键 词: | 湿度传感器 声表面波 湿度测量 食品卫生 湿敏 湿度检测 PANI 脱附过程 输出信号 反馈元件 |
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