| 基于极点配置的直线电机运动控制器设计 |
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| 引用本文： | 杨开明,叶佩青,尹文生. 基于极点配置的直线电机运动控制器设计[J]. 微电机, 2005, 38(3): 49-51 |
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| 作者姓名： | 杨开明 叶佩青 尹文生 |
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| 作者单位： | 清华大学精密系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 为了提高精密工作台的轨迹跟踪精度和动态响应性能,基于辨识出的控制对象离散化模型,利用极点配置方法设计精密工作台运动控制器的前馈环节和反馈环节,构成具有两自由度结构的精密工作台运动控制系统.通过实验,与PD 加速度前馈的控制方式相比较,精密工作台静态定位误差提高了0.5μm;当精密工作台以120mm/s匀速运动时,轨迹跟踪精度提高了2μm,定位建立时间缩短了10ms.表明,采用极点配置方法设计的运动控制器具有较好的动态响应和轨迹跟踪性能.
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| 关 键 词： | 精密工作台 直线电动机 运动控制 |
| 文章编号： | 1001-6848(2005)03-0049-03 |
| 修稿时间： | 2004-12-10 |
Motion Controller Design of Precision Stage based on Linear Motor |
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| YANG Kai-ming,YE Pei-qing,YIN Wen-sheng. Motion Controller Design of Precision Stage based on Linear Motor[J]. Micromotors, 2005, 38(3): 49-51 |
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| Authors: | YANG Kai-ming YE Pei-qing YIN Wen-sheng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | precision stage linear motor motion control |
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