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| 平面型SnO_2微型传感器 | |
| 作者姓名： | 李秉臣 毕可奎 李建中 楼章和 李国花 |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所，中国科学院半导体研究所，中国科学院半导体研究所，中国科学院半导体研究所，中国科学院半导体研究所 |
| 摘 要： | 所研制的平面型SnO_2微型传感器是用射频溅射制备超微粒SnO_2膜,和常规的硅平面工艺制作加热器和温度检测器,二者相容集成而制作的气敏器件。用AES、ESCA对SnO_2膜进行了分析,结果表明膜中并没有分离的Sn的成分。利用SnO_2膜接触不同气体表面电导会发生变化的特点,对器件进行了气敏特性测试分析。结果表明:SnO_2膜和Pd/SnO_2膜在200℃～300℃工作温度下对CH_4、CO、H_2、NO_2和H_2S等气体均有明显的敏感特性。当SnO_2膜表面掺入几十埃的Pd后,对上述气体 |
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