| FFU在电子超净工程中应用 |
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| 引用本文： | 黄征,王力.FFU在电子超净工程中应用[J].电子工业专用设备,2004,33(3):74-77. |
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| 作者姓名： | 黄征 王力 |
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| 作者单位： | 江苏苏净集团公司,江苏,苏州,215008;江苏苏净集团公司,江苏,苏州,215008 |
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| 摘 要： | 介绍FFU在超净工程中的优势,以实例讨论了超净工程中使用FFU如何最优化设计,简化系统,降低成本。
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| 关 键 词： | FFU 吊顶龙骨 过滤器 |
| 文章编号： | 1004-4507(2004)03-00-00 |
| 修稿时间： | 2004年3月1日 |
Application of FFU in the Semiconductor Super-clean Engineering |
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| HUANG Zeng,WANG Li.Application of FFU in the Semiconductor Super-clean Engineering[J].Equipment for Electronic Products Marufacturing,2004,33(3):74-77. |
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| Authors: | HUANG Zeng WANG Li |
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| Abstract: | This paper describes the advantage of the FFU and has discussed how to design optimum for the FFU in the Super-clean engineering with holding simplified system and down cost. |
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| Keywords: | FFU |
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