| ZrO2薄膜的力学性能和摩擦学性能研究 |
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| 引用本文： | 王金清,刘晓红,单小东,杨生荣. ZrO2薄膜的力学性能和摩擦学性能研究[J]. 材料科学与工程学报, 2004, 22(5): 669-673 |
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| 作者姓名： | 王金清 刘晓红 单小东 杨生荣 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000
2. 西北永新化工股份有限公司,甘肃,兰州,730000 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 , 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 在单晶硅表面成功地获得了自组装单层薄膜(MPTS-SAM),并将薄膜表面的巯基(-SH)完全氧化成磺酸基(-SO3H),从而获得了磺酸化的MPTS-SAM.采用静电自组装技术成功使ZrO2纳米微粒组装到磺酸化的MPTS-SAM表面获得淀积ZrO2薄膜.将ZrO2薄膜分别在500℃和800℃进行热处理后,ZrO2薄膜的厚度逐渐减小,这可能是随着温度的升高薄膜的表面密度逐渐增大所致.对ZrO2薄膜的力学和抗划伤性能分析发现:随着温度的升高,ZrO2薄膜的硬度和弹性模量依次增加,同时薄膜的抗划伤性能也逐渐提高.摩擦磨损实验表明:利用该方法制备的ZrO2薄膜经800℃烧结处理后适于在低负荷、低滑动速度下作为减摩、抗磨保护性涂层.
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| 关 键 词： | 氧化锆薄膜 力学性能 抗划伤性能 摩擦学性能 |
| 文章编号： | 1004-793X(2004)05-0669-05 |
| 修稿时间： | 2004-01-08 |
Mechanical Properties and Tribological Behaviour of ZrO2 Thin Films |
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| WANG Jin-qing ,LIU Xiao-hong ,SHAN Xiao-dong ,YANG Sheng-rong. Mechanical Properties and Tribological Behaviour of ZrO2 Thin Films[J]. Journal of Materials Science and Engineering, 2004, 22(5): 669-673 |
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| Authors: | WANG Jin-qing LIU Xiao-hong SHAN Xiao-dong YANG Sheng-rong |
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| Affiliation: | WANG Jin-qing 1,LIU Xiao-hong 1,SHAN Xiao-dong 2,YANG Sheng-rong 1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZrO 2 thin film mechanical properties adhesion strength tribological behavior |
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