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| 高纯超细硅微粉、高纯超细熔融硅微粉生产线通过鉴定 | |
| 作者姓名： | 张军 |
| 摘 要： | 由清华大学粉体工程研究开发部提供技术，南京华源非金属粉体材料有限公司与清华大学粉体工程研究开发部共同研制完成的超细高纯硅微粉生产线及产品，于２００１年１１月３０日在南京六合通过了江苏省省级鉴定。认为该项目所采用的生产工艺系统居国内领先水平。生产的产品纯度高、离子含量低、粒度细、质量稳定、品种多。高纯硅微粉性能指标先进，SiO２≥９９．９％；Na＋≤６×１０－６；Cl－≤２×１０－６；Fe３＋≤２×１０－６；电导率≤１０μs／cm。产品各项性能指标达到或优于部颁标准。高纯硅微粉作为大规模及超大规模集成电路塑… |
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