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| MEMS动态测试技术 | |
| 引用本文： | 栗大超,冯亚林,傅星,胡晓东,靳世久,郝一龙,胡小唐. MEMS动态测试技术[J]. 微纳电子技术, 2005, 42(4): 188-194 |
| 作者姓名： | 栗大超 冯亚林 傅星 胡晓东 靳世久 郝一龙 胡小唐 |
| 作者单位： | 1. 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;北京大学微电子学研究院,北京,100871 2. 北京大学微电子学研究院,北京,100871 3. 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 |
| 基金项目： | 国家863高技术研究发展计划资助项目(2002AA431090,2004AA404040) |
| 摘 要： | 阐述了基于频闪成像、计算机视觉和干涉测量的MEMS动态测试技术、基于激光多普勒测振的MEMS动态测试技术以及基于其他原理和方法的MEMS动态测试技术等的测试原理、测试方法与研究现状,指出了MEMS动态测试技术进一步的研究方向。 |
| 关 键 词： | 微机电系统 动态测试 频闪成像 计算机视觉 干涉测量 激光多普勒 |
| 文章编号： | 1671-4776(2005)04-0188-07 |
| 修稿时间： | 2004-10-12 |
MEMS Dynamic Testing Technique |
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| LI Da-chao,FENG Ya-lin,FU Xing,HU Xiao-Dong,JIN Shi-jiu,HAO Yi-long,HU Xiao-tang. MEMS Dynamic Testing Technique[J]. Micronanoelectronic Technology, 2005, 42(4): 188-194 | |
| Authors: | LI Da-chao FENG Ya-lin FU Xing HU Xiao-Dong JIN Shi-jiu HAO Yi-long HU Xiao-tang |
| Affiliation: | LI Da-chao1,2,FENG Ya-lin2,FU Xing1,HU Xiao-Dong1,JIN Shi-jiu1,HAO Yi-long2,HU Xiao-tang1 |
| Abstract: | The measurement principle,measurement system and research status of different MEMS dynamic testing techniques are discussed. And the research trend of MEMS dynamic testing technique is brought forward. |
| Keywords: | MEMS dynamic testing stroboscopic imaging computer vision interferometric measurement laser Doppler |
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