| 一种新型FBAR结构的设计 |
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| 作者姓名： | 张浩 张志杰 翟宇鹏 程皓 吴永盛 |
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| 作者单位： | 中北大学电子测试技术重点实验室,山西太原 030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原 030051;中北大学电子测试技术重点实验室,山西太原 030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原 030051;中北大学电子测试技术重点实验室,山西太原 030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原 030051;中北大学电子测试技术重点实验室,山西太原 030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原 030051;中北大学电子测试技术重点实验室,山西太原 030051;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原 030051 |
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| 摘 要： | ![]()
针对传统FBAR(Film Buck Acoustic Resonator)制备困难、成品率低的问题,提出一种新型FBAR结构(SU8-FBAR)。利用高分子聚合物材料SU8薄膜代替传统FBAR的支撑层和声波限制结构,增加了FBAR器件的机械强度,且易于制备,成品率较高。采用AlN作压电薄膜,分别以Mo、Pt、CNT、Al作为电极,利用Comsol Multiphysics仿真软件对SU8-FBAR的结构参数进行仿真优化。结果显示,当电极材料为CNT、上电极厚度为0.1μm、SU8薄膜厚度为5μm时,SU8-FBAR的综合性能最优:SU8-FBAR的品质因数(Q)值达到1210,几乎为传统FBAR Q值的3倍;机电耦合系数为0.063,高于传统FBAR的0.0425。该器件能检测到极小谐振频率的变化,可用于微生物传感领域。
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| 关 键 词： | 新型薄膜体声波谐振器结构 SU8薄膜替代声波限制结构 有限元仿真 易于制备 |
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