| 基于相变材料GexSbyTez(GST)的微波可调超材料器件研究 |
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| 引用本文： | 王曼婷,高泽华,兰楚文,李勃.基于相变材料GexSbyTez(GST)的微波可调超材料器件研究[J].电子元件与材料,2019,38(2):64-70. |
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| 作者姓名： | 王曼婷 高泽华 兰楚文 李勃 |
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| 作者单位： | 北京邮电大学 信息与通信工程学院,先进信息网络北京实验室,网络体系构建与融合北京市重点实验室,北京 100876;清华大学 深圳研究生院,广东 深圳,518055 |
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| 摘 要： | 基于非挥发性相变材料GexSbyTez(GST),设计并仿真了两种典型的微波可调超材料器件。结构由刻蚀在玻璃基底上的铜开口谐振环(Split-Ring Resonator,SRR)构成,GST薄膜镀在SRR环开口处。在特定的诱导条件下,相变材料GST将在非晶态和晶态之间产生可逆且相对稳定的转换,并由此获得电磁参数的显著改变,实现超材料器件的可调节。仿真中获得了调制深度为81.09%的可调微波超表面;吸收强度为99.67%的可调吸波器,且通过改变GST薄膜厚度,实现吸收强度由完美吸波到24.50%的连续可调节。本研究为微波可调超材料器件提供了一个新的实现机制。
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| 关 键 词： | 超材料器件 相变材料 微波 开口谐振环 电磁仿真 |
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