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杂志ISSN号
硅尖阵列二极管性能的研究
作者姓名:
陈德英 唐国洪
作者单位:
东南大学
摘 要:
简述了真空微二极管的结构参数设计考虑、工作特点、工艺制备技术。给出了微二极管不同温度下的F-N曲线及湿法腐蚀制备硅尖的开貌。该微二极管转换电压为2伏左右,发射锥尖电流为5μA/锥尖。
关 键 词:
真空微二极管 锥形硅尖阴极 温度特性
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