用衰减全反射方法测量介质薄膜的消光系数

本文介绍了测量介质薄膜消光系数K的衰减全反射方法。计算表明,K可测至5×10~(-5)。它适用于介质薄膜的弱吸收测量。氧化物薄膜,如氧化锆、氧化钛等实测的消光系数为K=2×10~(-4)。本文还讨论了影响测量灵敏度、精度的因素。由测得的S—和P—偏振光的反射率Rs和Rp同时确定薄膜的消光系数K和厚度d。