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| 一种新型半导体材料—纳米晶硅 | |
| 引用本文： | 李建军,魏希文.一种新型半导体材料—纳米晶硅[J].半导体杂志,1994,19(1):34-41. |
| 作者姓名： | 李建军 魏希文 |
| 作者单位： | 大连理工大学半导体研究室 |
| 摘 要： | 一种新型半导体材料──纳米晶硅李建军，魏希文，万明芳（大连理工大学半导体研究室１１６０２３）一、引言继非晶硅、多晶硅、微晶硅之后，纳米晶硅是近几年发展起来的又一种新型半导体材料。纳米固体材料是一种既不同于晶态也不同于非晶态的第三类固体材料，由１～１５... |
| 关 键 词： | 半导体材料 纳米晶硅 |
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