| 微密封真空微电子二极管 |
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| 引用本文： | 刘卫东 罗恩泽. 微密封真空微电子二极管[J]. 微电子学, 1994, 24(5): 55-56 |
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| 作者姓名： | 刘卫东 罗恩泽 |
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| 作者单位： | 西北工业大学，西安电子科技大学 |
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| 摘 要： | 本文介绍了一种微密封真空微电子二极管的工艺及实验结果。
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| 关 键 词： | 微密封 真空微电子器件 二极管 微电子 |
Microencapsulated Vacuum Microelectronic Diodes |
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| Liu Weidong. Microencapsulated Vacuum Microelectronic Diodes[J]. Microelectronics, 1994, 24(5): 55-56 |
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| Authors: | Liu Weidong |
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| Abstract: | A process for the fabrication of microencapsulated vacuum microelectronic diodes is described and its experimental results are given. |
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| Keywords: | Microencapsulation Vacuum microelectronic device Diode |
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