| 气动膜片式精密焊球微滴喷射制作方法 |
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| 引用本文： | 张鸿海,孙博,舒霞云,曹澍,朱天柱. 气动膜片式精密焊球微滴喷射制作方法[J]. 机械设计与制造, 2012, 0(8): 179-181 |
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| 作者姓名： | 张鸿海 孙博 舒霞云 曹澍 朱天柱 |
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| 作者单位： | 华中科技大学机械学院,武汉430074;武汉光电国家实验室微光机电系统研究部,武汉430074 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 为满足面积阵列封装对所需焊球越来越高的要求,提出了利用气动膜片式微滴喷射原理制作焊球的新方法。介绍了该方法的基本原理及所采用的实验装置,使用由自制电火花微孔加工机床加工的直径50μm不锈钢喷嘴,成功实现了直径100μm以下焊球的制作,研究了主要控制参数对焊球直径的影响。结果表明,气动膜片式微滴喷射方法制作的焊球直径精确、表面闪亮、球形完美,填补了国内直径100μm以下超精密微焊球制作技术的空白。
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| 关 键 词： | 面积阵列封装 焊球 喷射 气动膜片式 |
Fabrication of Precise Solder Balls by Pneumatic-diaphragm Droplet Jetting Method |
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| ZHANG Hong-hai , SUN Bo , SHU Xia-yun , CAO Shu , ZHU Tian-zhu. Fabrication of Precise Solder Balls by Pneumatic-diaphragm Droplet Jetting Method[J]. Machinery Design & Manufacture, 2012, 0(8): 179-181 |
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| Authors: | ZHANG Hong-hai SUN Bo SHU Xia-yun CAO Shu ZHU Tian-zhu |
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| Affiliation: | 1,2(1Huazhong University of Science and Technology,Wuhan 430074,China)(2Wuhan National Laboratory for Optoelectronics,Wuhan 430074,China) |
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