| Cu上石墨烯的化学气相沉积法生长研究 |
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| 引用本文： | 师小萍,于广辉,王斌,吴渊文.Cu上石墨烯的化学气相沉积法生长研究[J].功能材料与器件学报,2011,17(5). |
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| 作者姓名： | 师小萍 于广辉 王斌 吴渊文 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,信息功能材料国家重点实验室,上海200050 |
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| 摘 要： | 利用自行搭建的化学气相沉积(CVD)设备在Cu箔衬底上成功的制备出石墨烯薄膜,并利用光学显微镜和拉曼光谱分析等手段对石墨烯薄膜的形貌和结构进行了表征.主要研究了Cu箔的表面处理和沉积过程的气体流量对石墨烯质量的影响,发现氨水处理Cu箔可以腐蚀Cu箔表面的各种杂质提高Cu箔的洁净度从而提高石墨烯的结晶质量,优化CH4和H2的气体流量可以提高石墨烯的单层性和均匀性.并最终在CH4∶H2=200∶0 sccm条件下,在氨水处理过的Cu箔上获得了面积1.5 cm×1.5 cm的均匀的单层石墨烯.
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| 关 键 词： | 石墨烯 化学气相沉积(CVD) 表面处理 拉曼 |
Graphene Synthesis on Cu by Chemical Vapor Deposition |
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| SHI Xiao-ping,YU Guang-hui,WANG Bin,WU Yuan-wen.Graphene Synthesis on Cu by Chemical Vapor Deposition[J].Journal of Functional Materials and Devices,2011,17(5). |
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| Authors: | SHI Xiao-ping YU Guang-hui WANG Bin WU Yuan-wen |
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