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| CVD金刚石膜的断裂行为 | |
| 引用本文： | 吕反修,付一良,钟国仿,唐伟忠,杨连隐,佟玉梅. CVD金刚石膜的断裂行为[J]. 材料热处理学报, 1997, 0(3) |
| 作者姓名： | 吕反修 付一良 钟国仿 唐伟忠 杨连隐 佟玉梅 |
| 作者单位： | 北京科技大学材料系 |
| 基金项目： | 国家863高技术研究,发展计划资助项目 |
| 摘 要： | 采用球环法研究了用大功率ＤＣＰｌａｓｍａＪｅｔＣＶＤ沉积的无衬底自支撑金刚石厚膜的断裂强度和断裂韧度，并试图探索其与原始显微组织特征（特别是晶粒度）的关系。发现ＣＶＤ金刚石膜的强度和断裂韧度均远低于天然Ⅱａ型宝石级金刚石单晶。对于未抛光的试样，数据的离散程度掩盖了任何可能存在的规律性，而对于经过抛光的试样，研究结果表明与众所周知的ＰｅｔｃｈＨａｌ公式有相当好的吻合，说明细化晶粒仍然是提高ＣＶＤ金刚石膜力学性能的有效途径。预先存在的内部裂纹是ＣＶＤ金刚石膜强度低的重要原因之一。 |
| 关 键 词： | 断裂行为 晶粒度 缺陷和裂纹 金刚石厚膜 |
Fracture Behavior of CVD Thick Free standing Diamond Films |
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| Abstract: | |
| Keywords: | fracture behavior grain size defects and pre existing cracks thick free standing diamond films |
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