| 陶瓷氧化铝-金刚石薄膜复合材料的研究(英文) |
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| 引用本文： | 黄晓琴,夏义本,莫要武,王瑜,居建华,王鸿.陶瓷氧化铝-金刚石薄膜复合材料的研究(英文)[J].功能材料与器件学报,2001(3). |
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| 作者姓名： | 黄晓琴 夏义本 莫要武 王瑜 居建华 王鸿 |
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| 作者单位： | 上海大学材料科学与工程学院! 上海 201800，上海大学材料科学与工程学院! 上海 201800，上海大学材料科学与工程学院! 上海 201800，上海大学材料科学与工程学院! 上海 201800，上海大学材料科学与工程学院! 上海 201800，上海大学材料科学与工程学院! 上海 201800 |
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| 摘 要： | 以有机高分子化合物酒精和氢气为反应气体，用热丝 CVD法在 Al2O3陶瓷基片上沉积出 金刚石薄膜 ,用拉曼光谱， X射线衍射等方法进行了表征。探索了碳源浓度、热丝温度、基片温度 和预处理工艺对金刚石薄膜结构和性能的影响，并且得到了最佳的工艺条件。探讨了金刚石在 Al2O3衬底上的成核和生长机理。
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| 关 键 词： | 金刚石薄膜 热丝CVD 拉曼光谱 X射线衍射 |
Study on composites of ceramic materials Al_2O_3/diamond film |
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