| 基于微型悬臂梁的发电机制探索 |
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| 引用本文： | 杜小振,褚金奎,朴相镐,张海军. 基于微型悬臂梁的发电机制探索[J]. 中国机械工程, 2005, 16(Z1): 41-43 |
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| 作者姓名： | 杜小振 褚金奎 朴相镐 张海军 |
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| 作者单位： | 大连理工大学微系统研究中心,大连,116024 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50475153);教育部新世纪优秀人才支持项目 |
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| 摘 要： | 微机电系统(MEMS)微型化过程中,要求电源装置也必须向微型化发展.在现有微电源研究基础上,结合微型硅悬臂梁的力学分析以及压电晶体材料压电效应特性,提出一种新的压电陶瓷(PZT)微型硅悬臂梁发电装置.借助微型硅悬臂梁质量块的振动和PZT的正压电效应,实现振动机械能向电能转换.该装置结构简单、体积小、质量小,可以用MEMS集成加工工艺实现结构加工,因此与其他微型MEMS器件可以集成在一个基础上.
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| 关 键 词： | 微型悬臂梁 压电陶瓷 微能源 MEMS |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0041-03 |
| 修稿时间： | 2005-04-18 |
Study on Electricity Generating Mechamism of Micro Cantilever |
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| Du Xiaozhen,Chu Jinkui,Piao Xiaogao,Zhang Haijun. Study on Electricity Generating Mechamism of Micro Cantilever[J]. China Mechanical Engineering, 2005, 16(Z1): 41-43 |
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| Authors: | Du Xiaozhen Chu Jinkui Piao Xiaogao Zhang Haijun |
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