| 用于射频领域的MEMS无源LC滤波器设计研究 |
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| 引用本文： | 方杰,刘泽文,陈忠民,刘理天,李志坚. 用于射频领域的MEMS无源LC滤波器设计研究[J]. 中国机械工程, 2005, 16(Z1): 173-175 |
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| 作者姓名： | 方杰 刘泽文 陈忠民 刘理天 李志坚 |
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| 作者单位： | 清华大学,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划资助项目(G1999033105) |
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| 摘 要： | 介绍了一种利用MEMS工艺实现的用于射频领域的无源LC低通滤波器的设计、仿真和制作.该低通滤波器(LPF)采用三阶Chebyshev最少电容原型结构,设计参数为一3dB带宽为3GHz,插入损耗小于2dB.基于MEMS无源元件(电容和电感)的集总物理模型,实现了对LPF实际性能的等效电路仿真,同时进行了版图和结构的验证.利用MEMS工艺实现的低通滤波器,其一3dB带宽和通带内插入损耗分别为2.925GHz和1.2dB(在1GHz下),制作工艺与标准CMOS工艺兼容.
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| 关 键 词： | 射频 MEMS 无源滤波器 集总模型 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0173-03 |
| 修稿时间： | 2005-04-06 |
Design of a RF MEMS Passive LC Filter |
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| Fang Jie,Liu Zewen,Chen Zhongmin,Liu Litian,Li Zhijian. Design of a RF MEMS Passive LC Filter[J]. China Mechanical Engineering, 2005, 16(Z1): 173-175 |
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| Authors: | Fang Jie Liu Zewen Chen Zhongmin Liu Litian Li Zhijian |
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