| 超精密六自由度微动台耦合动力学建模及分析 |
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| 引用本文： | 蒋毅,朱煜,杨开明,李鑫,余东东.超精密六自由度微动台耦合动力学建模及分析[J].中国电机工程学报,2014(30). |
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| 作者姓名： | 蒋毅 朱煜 杨开明 李鑫 余东东 |
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| 作者单位： | 摩擦学国家重点实验室 清华大学机械工程系,北京市海淀区,100084 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划项目(973计划)(2009CB 724205)。The National Basic Research Program (973 Program) |
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| 摘 要： | 多输入多输出(multi-input multi-output,MIMO)运动控制系统中,自由度耦合是影响系统运动性能的关键因素。因此,为实现运动系统高速度下纳米级定位精度和轨迹跟踪精度,需要从控制对象内部的耦合机理出发,建立耦合模型,并在此基础上建立动力学模型,实现系统内部的力学解耦。该文研究对象是一种无接触式六自由度微动台,此微动台有8个洛伦兹电机提供驱动力,且竖直方向具有重力平衡装置。基于微动台的结构模型和控制要求,建立了2类主要耦合模型:位置相关耦合和力相关耦合。其中,位置相关解耦连接控制点到质心,力相关解耦连接质心到各驱动力。最后进行了实验验证,实验结果证明了动力学模型的可行性和有效性。
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| 关 键 词： | 多输入多输出系统 动力学建模 位置相关耦合 力相关耦合 |
Coupled Dynamic Modeling and Analysis of Ultra-precision 6-DOF Fine Stage |
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| JIANG Yi
,
ZHU Yu
,
YANG Kaiming
,
LI Xin
,
YU Dongdong.Coupled Dynamic Modeling and Analysis of Ultra-precision 6-DOF Fine Stage[J].Proceedings of the CSEE,2014(30). |
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| Authors: | JIANG Yi ZHU Yu YANG Kaiming LI Xin YU Dongdong |
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| Affiliation: | Department of Mechanical Engineering, State Key Laboratory of Tribology, Tsinghua University |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | multi-input multi-output (MIMO) system dynamic modeling position-dependency coupling force- dependency coupling |
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