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| 基于SMA的微夹持系统实验研究 | |
| 引用本文： | 巩娟,李玉和,石志松,李庆祥.基于SMA的微夹持系统实验研究[J].新技术新工艺,2005(6):18-20. |
| 作者姓名： | 巩娟 李玉和 石志松 李庆祥 |
| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械系,100084 |
| 基金项目： | 高等学校博士学科点专项科研基金(20020003015) |
| 摘 要： | 微夹持技术是微器件装配的关键技术之一。采用柔性铰链机构设计了三自由度微夹持操作平台，并进行了有限元仿真模拟分析；利用形状记忆合金原理进行设计并研制了环状微夹钳，通过形状训练达到了双程形状记忆效应，并建立了微夹持力计算模型；对微夹持系统的运动精度进行了试验分析，结果表明：该系统沿X，Y，Z方向的位移分辨率达0．01μm，微夹持钳最大张开量达0．2mm，基本满足了系统性能要求。 |
| 关 键 词： | 微夹钳 形状记忆合金 微机电系统 微装配 SMA |
Experimental Study on SMA Microgripping System |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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