| a—C：H（N）类金刚石薄膜的结构及内应力分析 |
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| 引用本文： | 陈建国 程宇航 等. a—C：H（N）类金刚石薄膜的结构及内应力分析[J]. 硅酸盐学报, 2002, 30(2): 224-229 |
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| 作者姓名： | 陈建国 程宇航 等 |
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| 作者单位： | 华中科技大学塑性成型模拟及模具技术国家重点实验室 武汉430074(陈建国，程宇航，吴一平)，华中科技大学塑性成型模拟及模具技术国家重点实验室 武汉430074(乔学亮) |
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| 摘 要： | 采用射频等离子增强化学气相沉积法制备出a－C：H（N）类金刚石薄膜，用X射线光电子能普、红外吸收光谱和慢正电子湮灭谱研究了薄膜的结构，用弯曲法测定了薄膜的内应力。随着混合气体中N2的含量从0增加到75％，薄膜中N量可增加到9．09％（摩尔分数），N原子与C原子以C－N，C＝N和C≡N键的形式结合，薄膜中的缺陷密度随含N量而增加，而薄膜的内应力则随着薄膜中N含量的增加而单调降低。
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| 关 键 词： | 类金刚石薄膜 掺氮大晶碳氢膜 内应力 等离子增强化学气相沉积 结构 |
| 文章编号： | 0454-5648(2002)02-0224-06 |
| 修稿时间： | 2001-08-13 |
STRUCTURE AND INTERNAL STRESS OF NITROGEN-DOPED AMORPHOUS HYDROGENATED CARBON FILMS |
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| CHEN Jianguo,CHENG Yuhang,WU Yiping,QIAO Xueliang. STRUCTURE AND INTERNAL STRESS OF NITROGEN-DOPED AMORPHOUS HYDROGENATED CARBON FILMS[J]. Journal of The Chinese Ceramic Society, 2002, 30(2): 224-229 |
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| Authors: | CHEN Jianguo CHENG Yuhang WU Yiping QIAO Xueliang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | diamond_like carbon films nitrogen_depped amorphous hydrogenated carbon films internal stress radio frequency chemical vapour deposition |
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