| 弓型悬臂梁微静电谐振器力学建模 |
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| 引用本文： | 赵江铭,沈雪瑾,张海霞,陈晓阳.弓型悬臂梁微静电谐振器力学建模[J].微纳电子技术,2003,40(7):22-26. |
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| 作者姓名： | 赵江铭 沈雪瑾 张海霞 陈晓阳 |
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| 作者单位： | 1. 上海大学机电工程与自动化学院,上海,200072
2. 北京大学微电子所,北京,100871 |
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| 基金项目： | 973子项目(G1999033109);上海市教委重点学科科研项目(970104)资助 |
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| 摘 要： | 根据梁的小变形理论，对双侧支承微静电谐振器的弓型悬臂梁进行了理论建模和受力分析研究。推导出其受力和变形计算公式，研究表明，此种谐振器是五次超静定问题；在支承长度和工况相同的情况下，它比直脚型悬臂梁谐和蟹脚型悬臂梁的谐振幅度大；谐振频率和刚度系数随着纵向支撑长度L、横向短梁长度l3的增加而减小，随着梁宽b的增加而增加。
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| 关 键 词： | 弓型悬臂梁 微静电谐振器 力学建模 谐振频率 刚度系数 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0022-05 |
| 修稿时间： | 2003年5月15日 |
Analysis on the mechanical preference of microresonators with meander suspensions |
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