| 一种窄带温补型声表面波滤波器 |
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| 引用本文： | 冷俊林,董加和,陆川,陈运祥,李桦林,陈尚权,彭霄,寇俊,唐永红,米佳. 一种窄带温补型声表面波滤波器[J]. 压电与声光, 2020, 42(1): 67-70 |
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| 作者姓名： | 冷俊林 董加和 陆川 陈运祥 李桦林 陈尚权 彭霄 寇俊 唐永红 米佳 |
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| 作者单位： | （中国电子科技集团公司第二十六研究所，重庆 400060） |
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| 基金项目： | 国家科技攻关计划基金资助项目 |
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| 摘 要： | 该文介绍了一种频率温度系数接近0的窄带温补型声表面波滤波器。该滤波器采用黑化的42°Y-X钽酸锂为衬底,温度补偿层材料采用二氧化硅薄膜,利用化学机械抛光二氧化硅薄膜法获得了平坦表面形貌。制作了温补型声表面波滤波器样品并进行了测试。测试结果表明,该温补型声表面波滤波器的中心频率约1 360 MHz,在-55～85℃内频率漂移仅约390 kHz,频率温度系数约-2×10~(-6)/℃,插入损耗约1.3 dB。
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| 关 键 词： | 声表面波滤波器 温补型声表面波 频率温度系数 |
A Narrowband Temperature Compensated SAW Filter |
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| LENG Junlin,DONG Jiahe,LU Chuan,CHEN Yunxiang,LI Hualin,CHEN Shangquan,PENG Xiao,KOU Jun,TANG Yonghong,MI Jia. A Narrowband Temperature Compensated SAW Filter[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2020, 42(1): 67-70 |
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| Authors: | LENG Junlin DONG Jiahe LU Chuan CHEN Yunxiang LI Hualin CHEN Shangquan PENG Xiao KOU Jun TANG Yonghong MI Jia |
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| Affiliation: | (The 26th Institute of China Electronics Technology Group Corporation,Chongqing 400060,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SAW filter TC SAW temperature coeffcient of frequency(TCF) |
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