| BAW滤波器板上测试夹具设计 |
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| 引用本文： | 许夏茜,高杨,袁靖. BAW滤波器板上测试夹具设计[J]. 压电与声光, 2020, 42(2): 149-154 |
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| 作者姓名： | 许夏茜 高杨 袁靖 |
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| 作者单位： | (1. 西南科技大学 信息工程学院，四川 绵阳 621010；2. 西南科技大学 微系统中心，四川 绵阳 621010) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(61574131)；西南科技大学研究生创新基金资助项目(19ycx0108) |
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| 摘 要： | 针对体声波(BAW)滤波器与测试仪器间接口形式不同而无法直接测试的问题，设计了一款BAW滤波器板上测试夹具。首先根据经验公式初步确定夹具介质基片厚度，并导入ADS中LineCacl工具，计算出夹具微带线长度、宽度的初始值；在ADS中建立TDR瞬态仿真电路，进行微带线阻抗不匹配研究，给出相应的解决方法，将初始设计的夹具结构参数导入ADS进行阻抗匹配复核；选用3款不同中心频率的BAW滤波器作为待测器件(DUT)，分别进行了片上探针和板上夹具测试，并将同一滤波器测试结果的散射参数矩阵参量(S11、S12、S21、S22)曲线进行对比。对比结果表明，与片上测试相比，板上测试曲线略有偏移，但两者趋势一致；板上测试S12-S21曲线、S11-S22曲线吻合较好。板上测试结果可为后续去嵌入校准提供比较可靠的初始值。
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| 关 键 词： | 体声波(BAW)滤波器；板上测试；夹具；S参数 |
Design of BAW Filter On board Test Fixture |
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| XU Xiaxi,GAO Yang,YUAN Jing. Design of BAW Filter On board Test Fixture[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2020, 42(2): 149-154 |
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| Authors: | XU Xiaxi GAO Yang YUAN Jing |
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| Affiliation: | (1. School of Information Engineering, Southwest University of Science and Technology, Mianyang 621010, China;2. Microsystem Centre,Southwest University of Science and Technology,Mianyang 621010, China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | bulk acoustic wave(BAW) filter on board test in fixture S-parameters |
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